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市場調査レポート

サブ100nmリソグラフィ:市場分析および戦略的課題

Sub 100-nm Lithography: Market Analysis and Strategic Issues

発行 Information Network 商品コード 4961
出版日 ページ情報 英文 150 PAGES
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サブ100nmリソグラフィ:市場分析および戦略的課題 Sub 100-nm Lithography: Market Analysis and Strategic Issues
出版日: 2018年07月01日 ページ情報: 英文 150 PAGES
概要

当レポートでは、光学システム、X線システム、電子ビームやイオンビームシステムといった各種リソグラフィ技術の動向と課題、サプライヤの戦略や今後の予測などについてまとめています。

第1章 イントロダクション

第2章 エグゼクティブサマリー

第3章 リソグラフィの課題と動向

  • 光学システム
    • イントロダクション
    • ステップ&リピート・アライナー
    • 遠紫外線 (DUV)
  • EUV
  • ナノインプリントリソグラフィ
  • X線リソグラフィ
  • 電子ビームリソグラフィ
  • イオンビームリソグラフィ

第4章 サプライヤーの戦略

  • リソグラフィに対するニーズの定義
  • ベンダーのベンチマーキング
    • 価格
    • ベンダーの取り組みとその姿勢
    • ベンダーの能力
    • システム性能
    • 機器評価中のベンダーフィードバック
    • 機器生産中のベンダーフィードバック
  • 競争環境
  • クラス1クリーンルーム用機器
  • 未来型工場向け機器
  • 市場機会

第5章 市場予測

  • 影響因子
    • 技術動向
    • 経済動向
    • 光学技術の限界
  • 市場予測に関する仮定
  • 市場予測
目次

The continued improvements in lithography have been the driving force that has upheld Moore's Law. Shorter wavelengths, better lenses, and adaptive optics have all contributed to this success story, which has allowed commercial chips to be fabricated with 14nm feature sizes

This report examines and projects the technologies involved, their likely developments, what problems and choices are facing users, and where the opportunities and pitfalls are. The worldwide lithography markets are analyzed and projected by type (EUV, DUV, and optical), and market shares by vendor for each type.

Table of Contents

Chapter 1 Introduction

  • 1.1 The Need For This Report

Chapter 2 Executive Summary

  • 2.1 Summary of Major Issues
  • 2.2 Summary of Market Opportunities

Chapter 3 Lithography Issues And Trends

  • 3.1 Optical Systems
    • 3.1.1 Introduction
    • 3.1.2 Step-and-Repeat Aligners
    • 3.1.3 Deep Ultraviolet (DUV)
  • 3.2 EUV
    • 3.5 Nano-Imprint Lithography
    • 3.4 X-Ray Lithography
    • 3.3 Electron Beam Lithography
    • 3.4 Ion Beam Lithography

Chapter 4 User - Supplier Strategies

  • 4.1 Determining Lithography Needs
  • 4.2 Benchmarking a Vendor
    • 4.2.1 Pricing
    • 4.2.2 Vendor Commitment and Attitudes
    • 4.2.3 Vendor Capabilities
    • 4.2.4 System Capabilities
    • 4.2.5 Vendor Feedback During Equipment Evaluation
    • 4.2.6 Vendor Feedback During Device Production
  • 4.3 Competitive Environment
  • 4.4 Equipment For Class 1 Cleanrooms
  • 4.5 Equipment For the Factory of the Future
  • 4.6 Opportunities

Chapter 5 Market Forecast

  • 5.1 Driving Forces
    • 5.1.1 Technical Trends
    • 5.1.2 Economic Trends
    • 5.1.3 Optical Limitations
    • 5.2 Market Forecast Assumptions
    • 5.3 Market Forecast

List of Tables

  • 3.1 Wavelength "Generations"
  • 3.2 Characteristics of X-Ray Systems
  • 5.1 Worldwide Capital Spending
  • 5.2 DRAM Lithographic Requirements
  • 5.3 Worldwide Optical Stepper Market
  • 5.4 Worldwide Stepper Market Shares

List of Figures

  • 1.1 Lithographic Equipment Requirements for DRAMs
  • 3.1 Lithography Options For MPUs/DRAMs
  • 3.2 Lithography Options For Flash
  • 3.3 Illustration of Stepper Exposure System
  • 3.4 Lens Arrangement For Submicron Features
  • 3.5 Excimer Laser Evolution
  • 3.6 EUV Lithography
  • 3.7 Thermoplastic Nanoimprint Lithography Process
  • 3.8 Step And Flash Nanoimprint Lithography Process
  • 3.9 Illustration of X-Ray Lithography
  • 3.10 Schematic Of Scalpel Electron Beam System
  • 3.11 Multi-Source E-Beam Lithography
  • 3.12 Ion Projection Lithography System
  • 4.1 Manufacturing Costs Per Exposure Station
  • 5.1 Lithography Market Vs Equipment Market
  • 5.2 Lithography Double Exposure Technique
  • 5.3 Lithography Requirements
  • 5.4 Lithography Extensions
  • 5.5 Lithography Cost of Ownership
  • 5.6 Segmentation of Stepper/Scan Shipments
  • 5.7 Market Shares of Vendors (Units)
  • 5.8 Unit Market Shares of Vendors
  • 5.9 Worldwide I-Line Market Shares
  • 5.10 Worldwide 248nm Market Shares
  • 5.11 Worldwide 193nm Dry Market Shares
  • 5.12 Worldwide 193nm Wet Market Shares
  • 5.13 Market Shares of Vendors (Revenues)
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