半導体マスク検査装置：世界市場シェアとランキング、総売上高および需要予測2025-2031年

半導体マスク検査装置の世界市場規模は、2024年に17億7,900万米ドルと推定され、2025年から2031年の予測期間においてCAGR 9.4％で拡大し、2031年までに34億200万米ドルに再調整される見込みです。

本報告書では、半導体マスク検査装置に関する最近の関税調整と国際的な戦略的対抗措置について、越境的な産業フットプリント、資本配分パターン、地域経済の相互依存性、サプライチェーンの再構築を包括的に評価しております。

マスクとは、ICパターンを半導体ウエハーに転写するための原版です。露光工程において想定サイズを超える欠陥が生じた場合、これを特定し修正する必要があります。半導体デバイスは、集積回路の原版パターン源となるフォトマスクを用いて製造されます。半導体マスク検査装置は、マスク表面のパターン欠陥や異物を検出します。この装置は半導体工場において、マスクショップなどのサプライヤーから納入されたマスクの検査や、デバイス製造工程中の定期的なマスク検査に使用されます。またマスクショップでは、デバイスメーカーへの出荷前にマスクを検査するためにも本装置が活用されます。マスク検査装置が必要な主な理由は、マスク表面および裏面に固体状の異物（ヘイズ）が発生しやすい点にあります。半導体製造工程を進める前に、こうした不純物の有無を検査する必要があります。ArF露光技術の採用により、照射光エネルギーのレベルが上昇しました。露光時には、有機物やアンモニアなどの気体状不純物が微量ながらマスク上に存在します。短波長レーザーによる照射はこれらの気体物質を分解し、結合を誘起します。これが原因で、マスク表面および裏面に固体成長異物（ヘイズ）が発生することが多々あります。このヘイズは通常数十ナノメートルと微小ですが、成長するとリソグラフィ工程中にウエハーに転写され、半導体デバイスの欠陥を引き起こします。マスクにパターンが形成された後に検出される欠陥には、パターンの突起、パターンのひび割れ、透明部分の汚れやほこり、光が遮られたパターン部分の透明ピンホールなどがあります。

市場成長の促進要因

半導体産業の拡大：世界的な新規ウエハー工場建設の加速（2023年には28工場、うち中国本土で20工場）により、フォトマスク需要のCAGRは11.77%に達する見込みです。

現地生産化の加速：現在、ハイエンドフォトマスクの国内生産率は20％未満ですが、政策支援により現地生産能力の拡大が加速しています（例：SPPIの130-28nm生産ラインは2025年に稼働開始予定）。

技術進化：EUVリソグラフィーおよび先進パッケージング（チップレット／3D IC）はナノスケールでの欠陥密度を要求するため、検査装置のアップグレードが必須となります。

技術動向

高解像度検査：3nm以下の欠陥検出向けに、電子線（E-beam）およびX線システムの採用が増加しています。

AI統合：AIアルゴリズムにより、欠陥の分類と位置特定において30％以上の効率向上が可能となります（例：KLA-Tencorソリューション）。

ハイブリッド方式：速度と精度のバランスに優れた光学＋電子ビームのハイブリッドシステムが主流（例：Lasertec社の最新モデル）46。

新興アプリケーション

マイクロLED：量産プロセスではフォトマスク欠陥率0.1ppm未満が要求され、新たな装置ニーズを喚起。

自動車用電子機器：AEC-Q100認証により検査基準が引き上げられ、高温・高圧試験機能が必要となります。

本レポートは、半導体マスク検査装置の世界市場について、総販売数量、売上高、価格、主要企業の市場シェアおよび順位に焦点を当て、地域・国別、タイプ別、用途別の分析とともに包括的な概要を提供することを目的としています。

半導体マスク検査装置の市場規模、推定・予測は、販売数量（台数）および売上高（百万米ドル）で提供され、2024年を基準年とし、2020年から2031年までの期間における過去データと予測データを含みます。定量的・定性的分析の両方を用いて、読者の皆様が半導体マスク検査装置に関する事業・成長戦略の策定、市場競争の評価、現在のマーケットプレースにおける自社の位置付けの分析、情報に基づいた事業判断を行うことを支援します。

市場セグメンテーション

企業別

• KLA-Tencor
• Applied Materials
• Lasertec
• NuFlare
• Carl Zeiss AG
• Advantest
• VPTEK
• YUWEITEK

タイプ別セグメント

• フォトマスク検出装置
• フォトマスク基板検査装置

用途別セグメント

• 半導体チップメーカー
• マスク工場
• 基板メーカー

地域別

• 北米
  • 米国
  • カナダ
• アジア太平洋
  • 中国
  • 日本
  • 韓国
  • 東南アジア
  • インド
  • オーストラリア
  • その他アジア太平洋地域
• 欧州
  • ドイツ
  • フランス
  • 英国
  • イタリア
  • オランダ
  • 北欧諸国
  • その他欧州
• ラテンアメリカ
  • メキシコ
  • ブラジル
  • その他ラテンアメリカ
• 中東・アフリカ
  • トルコ
  • サウジアラビア
  • アラブ首長国連邦
  • その他中東・アフリカ