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市場調査レポート

半導体工場の自動化:テクノロジーおよび市場予測

Semiconductor Factory Automation: Technology Issues and Market Forecasts

発行 Information Network 商品コード 4968
出版日 ページ情報 英文 155 PAGES
納期: 即日から翌営業日
価格
本日の銀行送金レート: 1USD=107.50円で換算しております。
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半導体工場の自動化:テクノロジーおよび市場予測 Semiconductor Factory Automation: Technology Issues and Market Forecasts
出版日: 2016年06月01日 ページ情報: 英文 155 PAGES
概要

先端技術分野の調査会社として世界的に高い評価を得ております米国の調査会社 The Information Network 社は報告書 ” Semiconductor Factory Automation: Technology Issues and Market Forecasts” をジャスト イン タイムで(発注時に内容を更新して)お届けいたします。

本報告書では、半導体工場の自動化の業界の分析、中心的役割を担っている企業、さらに半導体工場の自動化の方向を決める諸力に関する分析が示されています。市場は次のセグメントに分かれています。

1. 自動輸送装置(ロボット、エレベータ、プラットフォームなど)
2. キャリア輸送(モノレール、AGV、AS/RSなど)
3. 製造実行システム(MES)ソフトウェア

本報告書の概略は下記の構成となっております。

1. イントロダクション

2. エグゼクティブサマリー

  • 主要問題の要約
  • 市場予測の要約

3. 推進力

  • 300 mmウエハーへの動向
  • 開発コスト
  • シングルウエハープロセス
  • プロセスツールの動向
  • 自動化の動向
  • 自動ウエハーの利点

4. ソフトウェア

  • CIMの発展
  • MES
  • 通信規格
  • セマテックのCIMフレームワーク

5. ハードウェア

  • 自動化のエレメント
  • フレキシブルオートメーション
  • 信頼性
  • ツールの問題と動向
  • E-manufacturing

6. 市場の分析

  • 市場影響因子
  • 市場予測の前提条件
  • 市場予測(自動輸送ツール市場、キャリア輸送市場、MESソフトウェア市場)

7. ユーザー関連の諸問題

  • 自動化に関する現在の見解
  • 工場に関する新しいパラダイム
  • 稼動し始めた新しい工場
  • ROIに関する見解
  • 古いパラダイムの8つの兆候
  • 新しいパラダイムの活用
目次

Clean processing has driven the proliferation of wafer-handling automation within process tools. Wafer-handling robot arms in vacuum and atmospheric tools are standard today. Meanwhile, Moore's Law played the primary role in wafer size increases and the automation that is present outside of the process tools.

This report addresses these technical issues, presenting an analysis of the semiconductor factory automation industry, the key players, and the driving forces directing semiconductor factory automation. Markets are segmented as: 1. Automated transfer tools (robots, elevators, platforms, etc.), 2. Carrier transport (monorail, AGV, AS/RS, etc.), 3. Manufacturing execution systems (MES) software. With the move to 450mm wafers - changes in wafer size, weight, fragility, risk of damage or creation of damaging particles - existing wafer handling robots and the drives, motors, linear components and controls that automate these wafer handling tools will need a new generation of components to satisfy the requirements of 450mm wafer handling. The vacuum and atmospheric robotic market is forecast and market shares of vendors presented.

Table of Contents

Chapter 1 - Introduction

Chapter 2 - Executive Summary

  • 2.1. Summary of Major Issues
  • 2.2. Summary of Market Forecasts

Chapter 3 - Driving Forces

  • 3.1. Introduction
  • 3.2. Trend to 300/450mm Wafers
  • 3.3. Development Costs
  • 3.4. Single-Wafer Processing
  • 3.5. Trends in Processing Tools
  • 3.6. Automation Trends
  • 3.7. Benefits of Automated Wafer Handling

Chapter 4 - Software

  • 4.1. Introduction
  • 4.2. The Evolution of CIM
  • 4.3. MES in Industry
    • 4.3.1. MES Functionalities
    • 4.3.2. MES Products
  • 4.4. Communication Standards
  • 4.5. Sematech CIM Framework

Chapter 5 - Hardware

  • 5.1. Introduction
  • 5.2. Elements of Automation
    • 5.2.1. Tool Automation
    • 5.2.2. Intrabay Automation
    • 5.2.3. Interbay Automation
    • 5.2.4. Material-Control System
  • 5.3. Flexible Automation
  • 5.4. Reliability
  • 5.5. Tool Issues and Trends
    • 5.5.1. Flexible Tool Interface
    • 5.5.2. Vacuum Robotics
    • 5.5.3. AGV
    • 5.5.4. Robot Control Systems
    • 5.5.5. 300-mm Wafer Transport
    • 5.5.6. Mini-Environments and Cleanroom Issues
  • 5.6. E-Manufacturing

Chapter 6 - Market Analysis

  • 6.1. Market Forces
  • 6.2. Market Forecast Assumptions
  • 6.3. Market Forecast
    • 6.3.1. Automated Transfer Tool Market
    • 6.3.2. Carrier Transport Market
    • 6.3.3. MES Software Market

Chapter 7 - User Issues

  • 7.1. Current Automation Thinking
  • 7.2. The New Factory Paradigm
  • 7.3. The New Factory in Action
  • 7.4. Return on Investment Considerations
  • 7.5. Eight Symptoms of the Old Paradigm
  • 7.6. Putting the New Paradigm to Work

List of Figures

  • 1.1: Advanced CIM System
  • 3.1: Automated Materials Handling System (AMHS) Framework
  • 4.1: Evolution of CIM
  • 4.2: Computer Integrated Fab Environment
  • 4.3: Message Integration in CIM
  • 4.4: Sematech CIM Framework Scope
  • 5.1: Material-Control System
  • 5.2: Traditional and Flexible Automated Material Handling System
  • 5.3: Overhead Monorail Delivery - Cassette in Box, Cassette in SMIF Pod
  • 5.4: Stocker Design and Interfaces
  • 5.5: Layout Of a 45nm 300mm Fab
  • 5.6: Interfaces To Factory Automation Systems
  • 6.1: Semiconductor Equipment Utilization
  • 6.2: Revenue Losses from Wafer Defects
  • 6.3: Market Shares of Atmospheric Robot Suppliers
  • 6.4: Market Shares of Vacuum Robot Suppliers
  • 6.6: Worldwide Market Shares of Carrier Transport Suppliers
  • 6.7: Worldwide Market of Shares MES Software Suppliers

List of Tables

  • 5.1: Evolution Of Factory Metrics
  • 6.1: Three-Year Savings for Automation
  • 6.2: Cost of Alternative Automated Systems
  • 6.3: Three-year Costs for Alternative Automated Systems
  • 6.4: Worldwide Forecast of Automated Transfer Tools
  • 6.5: Bill Of Materials For Atmospheric Automation Tool
  • 6.6: Bill Of Materials For PVD Vacuum Tool
  • 6.7: Process Tool Automation For 300mm Fabs
  • 6.8: Worldwide Forecast of Carrier Transport Market
  • 6.9: 300mm Fab Construction Plans
  • 6.10: Worldwide Forecast of MES Software
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