チャンバー部品向けCVD、PVDおよびALDコーティング：世界市場シェアとランキング、総売上高および需要予測2025-2031年

チャンバー部品向けCVD、PVD、ALDコーティングの世界市場規模は、2024年に5,800万米ドルと推定され、2025年から2031年の予測期間中にCAGR 9.7％で成長し、2031年までに1億1,300万米ドルに拡大すると予測されております。

チャンバー部品向けPVDおよびALDコーティングは、通常イットリウム酸化物またはアルミニウム酸化物を基材とし、あるいはアルミニウムオキシナイトライド（AlON）から製造される場合があります。正確な化学組成とコーティング厚さは用途に合わせて調整する必要があります。チャンバー内の使用温度、処理時間、ガスはデバイスの仕様によって大きく異なり、これらの変数を用いて、望まれるコーティング性能に適したコーティングの組み合わせが選択されます。カスタム設計の精密コーティングは、コストと性能の最適なバランスを実現します。

成膜チャンバーには、デバイスウエハーに直接接触する部品や、ウエハーに到達するプロセス化学薬品に曝露される部品など、様々な構成要素が含まれています。そのため、材料の選定が極めて重要です。

プラズマエッチングチャンバーで使用される腐食性化学薬品は、装置部品の表面を侵食し、コーティングを劣化させます。3Dデバイス加工で一般的な高温プラズマへの長時間曝露は、この劣化を加速させます。腐食した表面から剥離した粒子はウエハー上に堆積し、デバイス故障の原因となる可能性があります。

プラズマスプレーコーティングによる酸化イットリウムの被覆、あるいは陽極酸化アルミニウム製の部品は、長年にわたり業界標準として採用されてまいりました。こうした解決策は長年有効でしたが、先進プロセスノードのナノスケール構造では、システム内のあらゆる部品に対し、より高い清浄度が要求されます。従来の被覆部品は、エッチングチャンバーや成膜チャンバー内の過酷な環境に耐え、かつデバイス歩留まりに影響を与えないほどの耐久性を有しておりません。プラズマ溶射コーティングは比較的粗く多孔質である一方、陽極酸化コーティングは現地亀裂を生じやすく、劣化が早すぎます。また、成膜チャンバー内の部品は形状が複雑であるため、平面表面へのコーティングに最適な溶射コーティングでは対応が困難です。

精密に設計された特殊コーティングは、半導体ウエハー加工に関連する真空薄膜技術を採用し、従来のコーティングを劣化させる腐食や酸化に優れた耐性を備えた被覆部品を製造します。物理的気相成長法（PVD）と原子層堆積法（ALD）の2つの選択肢があります。

あらゆる精密設計コーティングは、腐食性プラズマ／化学環境下において最低限の耐摩耗性・耐食性を示し、基材に完全に密着して均一な被膜表面を形成しなければなりません。被覆対象部品の形状・材質、チャンバーの種類、処理条件が、最適なコーティング化学組成と手法をさらに決定します。

プラズマスプレーコーティングによる酸化イットリウムの被覆、あるいは陽極酸化アルミニウム製の部品は、長年にわたり業界標準として採用されてまいりました。こうした解決策は長年有効でしたが、先進プロセスノードのナノスケール特性により、システム内のあらゆる部品に対してより高い清浄度が要求されるようになりました。従来のコーティングを施した部品は、エッチングチャンバーや成膜チャンバー内の過酷な環境に耐えうる十分な耐久性を有しておらず、デバイス歩留まりに影響を及ぼす恐れがあります。プラズマ溶射コーティングは比較的粗く多孔質である一方、陽極酸化コーティングは現場での亀裂発生により劣化が早すぎます。また、成膜チャンバー内の部品は形状が複雑であるため、平面表面へのコーティングに最適な溶射コーティングには課題が生じます。

チャンバー部品向けのCVD、PVD、ALDコーティングは、通常イットリウム酸化物やアルミニウム酸化物を基材とし、あるいはアルミニウムオキシナイトライド（AlON）から作製されます。正確な化学組成とコーティング厚さは用途に合わせて調整する必要があります。チャンバー内の使用温度、処理時間、ガスはデバイス仕様によって大きく異なり、これらの変数を用いて、望まれるコーティング性能に最適なコーティングの組み合わせが選択されます。カスタム設計の精密コーティングは、コストと性能の最適なバランスを実現します。

世界のチャンバー部品向けCVD、PVD、ALDコーティング市場は、米国、日本、韓国、欧州の企業が主導しております。主要企業には、エンテグリス、コミコ、インフィコン、シノス、トカロ株式会社、エリコン・バルツァースなどが含まれます。2024年には上位5社が67％以上の市場シェアを占めております。

本レポートは、チャンバー部品向けCVD、PVD、ALDコーティングの世界市場について、総売上高、主要企業の市場シェアと順位に焦点を当て、地域・国別、コーティング方法別、用途別の分析を包括的に提示することを目的としています。

チャンバー部品向けCVD、PVD、ALDコーティング市場の規模、推定・予測は、2024年を基準年として売上収益で提示され、2020年から2031年までの期間における過去データと予測データが含まれます。定量的・定性的分析の両面から、読者の皆様がCVD、PVD、ALDによるチャンバー部品用コーティングに関する事業戦略・成長戦略の策定、市場競争の評価、現在のマーケットプレースにおける自社の位置付けの分析、情報に基づいたビジネス判断を行うことを支援します。

市場セグメンテーション

企業別

• TOCALO Co., Ltd.
• KoMiCo
• Cinos
• WONIK QnC
• Oerlikon Balzers
• Beneq
• Entegris
• Inficon
• SilcoTek

コーティング方法別セグメント

• PVDコーティング法
• ALDコーティング法
• CVDコーティング法

用途別セグメント

• エッチング装置
• 成膜装置

地域別

• 北米
  • 米国
  • カナダ
• アジア太平洋
  • 中国
  • 日本
  • 韓国
  • 東南アジア
  • インド
  • オーストラリア
  • その他アジア太平洋地域
• 欧州
  • ドイツ
  • フランス
  • 英国
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  • オランダ
  • 北欧諸国
  • その他欧州
• ラテンアメリカ
  • メキシコ
  • ブラジル
  • その他ラテンアメリカ
• 中東・アフリカ
  • トルコ
  • サウジアラビア
  • アラブ首長国連邦
  • その他中東・アフリカ