市場調査レポート

ICプロセスにおけるクラスターツール:技術および市場の分析と予測

Cluster Tools In IC Processing: Technology and Market Forecasts

発行 Information Network 商品コード 4963
出版日 ページ情報 英文
納期: 即日から翌営業日
価格
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ICプロセスにおけるクラスターツール:技術および市場の分析と予測 Cluster Tools In IC Processing: Technology and Market Forecasts
出版日: 2016年07月01日 ページ情報: 英文
概要

当レポートでは、クラスターのコンセプト、インターフェース規格、市場に展開されているクラスターツールの概要、プロセス動向と課題、コストおよび人的課題や今後の展望などについてまとめています。

第1章 イントロダクション

第2章 エグゼクティブサマリー

第3章 インターフェース規格

  • SEMI/MESC
  • SECS I と SECS II
  • HSMS 規格
  • GEM
  • 規格の方向性

第4章 クラスターのコンセプト

  • 定義
  • デバイステクノロジーと統合プロセッシング
  • 主要機能ユニット
    • 中央処理プラットフォーム
    • カセットステーション
    • 拡張モジュール
    • シングルプロセスモジュール
    • バッチモジュール
    • マルチプロセスモジュール
  • クラスターツール通信
    • クラスターツールコントローラ
    • 伝送モジュールコントローラ
    • プロセスモジュールコントローラ
    • コントロールソフトウェア
    • ヒューマンインターフェースソフトウェア
    • ネットワーキングソフトウェア
  • 真空システム設計

第5章 商用クラスターツール

  • クラスターツールとサプライヤ
  • プロセスモジュールとサプライヤ

第6章 クラスターツールプロセス動向

  • 概要
  • 蒸着:プラズマ・エッチング
  • 蒸着:高速熱処理
  • リソグラフィ:抵抗処理
  • 診断:プロセス
  • CMP 研磨

第7章 クラスターツールの課題

  • 概要
  • 機器の信頼性
  • 機器の維持容易性
  • 課題
  • 機会

第8章 コストおよび人材的課題

  • 概要
  • コストの正当性
    • 背景
    • コストの正当性
    • 積立金
    • 人件費
    • その他ROIに関する見解
  • 人材の影響
    • 背景
    • 直接雇用
    • 機器サポート
    • プロセスエンジニアリング
    • オペレーションスタッフ

第9章 市場予測

  • 概要
  • 市場予測の仮定
  • 市場予測
    • 機器市場
    • フレキシブルクラスターツール市場
    • 非フレキシブルクラスターツール市場
    • クラスターツール市場

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目次

Cluster tools combine several processes under one vacuum chamber for the purpose of reducing cycle times, reducing wafer handling by operators, reducing particulate contamination, reducing molecular contamination, and initiating difficult processes.

The cluster tool market accelerated in March 1989 with the introduction of the SEMI/MESC consortium. The market quickly segmented into two camps - equipment conforming to the open architecture of the SEMI/MESC standards and a closed architecture for equipment, primarily from Applied Materials, which did not. The SEMI/MESC standards to promote flexible manufacturing were not enforced and the cluster tool market evolved into two other camps - Vacuum Cluster Tools and Non-Vacuum Cluster Tools.

This report profiles the semiconductor equipment companies and their products that are part of the $20 billion market in 2018, which will outgrow the overall equipment processing market.

Table of Contents

Chapter 1 Introduction

Chapter 2 Executive Summary

  • 2.1 Summary of Technical Issues
  • 2.2 Summary of Market Forecast

Chapter 3 Interface Standards

  • 3.1 SEMI/MESC
  • 3.2 SECS I and SECS II
  • 3.3 High-Speed SECS Message Services (HSMS) Standard
  • 3.4 GEM
  • 3.5 Standards Directions

Chapter 4 The Cluster Concept

  • 4.1 Definitions
  • 4.2 Device Technology and Integrated Processing
  • 4.3 Main Functional Units
    • 4.3.1 Central Handling Platform
    • 4.3.2 Cassette Stations
    • 4.3.3 Extension Modules
    • 4.3.4 Single Process Modules
    • 4.3.5 Batch Modules
    • 4.3.6 Multiple Process Modules
  • 4.4 Cluster Tool Communications
    • 4.4.1 Cluster Tool Controller
    • 4.4.2 Transport Module Controller
    • 4.4.3 Process Module Controller
    • 4.4.4 Control Software
    • 4.4.5 Human Interface Software
    • 4.4.6 Networking Software
  • 4.5 Vacuum System Design

Chapter 5 Commercial Cluster Tools

  • 5.1 Cluster Tools and Suppliers
    • Aixtron
    • Applied Materials
    • ASM International
    • Brooks Automation
    • Canon
    • Canon Anelva
    • Ebara
    • Evatec
    • Genmark Automation
    • Hitachi High Technologies
    • IPS
    • Jusung Engineering
    • KLA-Tencor
    • Kornic Automation
    • Lam Research
    • Nanometrics
    • Nova Measuring Systems
    • Oxford Instruments Plasma Technology
    • Picosun
    • Primaxx / SPTS Technologies
    • Rorze
    • Sentech
    • Singulus Technologies
    • Suss MicroTec AG
    • Tek-Vac
    • Tokyo Electron
    • Ulvac

Chapter 6 Cluster Tool Process Trends

  • 6.1 Introduction
  • 6.2 Deposition - Plasma Etch
  • 6.3 Deposition - Rapid Thermal Processing
  • 6.4 Lithography - Resist Processing
  • 6.5 Diagnostics - Process
  • 6.6 CMP Polish - Clean

Chapter 7 Cluster Tool Issues

  • 7.1 Introduction
  • 7.2 Equipment Reliability
  • 7.3 Equipment Maintainability
  • 7.4 Challenges
  • 7.5 Opportunities

Chapter 8 Economic and Human Resource Issues

  • 8.1 Introduction
  • 8.2 Economic Justification
    • 8.2.1 Background
    • 8.2.2 Cost Justification
    • 8.2.3 Reserves
    • 8.2.4 Personnel Costs
    • 8.2.5 Other ROI Considerations
  • 8.3 Human Resources Impact
    • 8.3.1 Background
    • 8.3.2 Direct Labor
    • 8.3.3 Equipment Support
    • 8.3.4 Process Engineering
    • 8.3.5 Operations Staff

Chapter 9 Market Forecast

  • 9.1 Introduction
  • 9.2 Market Forecast Assumptions
  • 9.3 Market Forecast
    • 9.3.1 Total Available Vacuum Cluster Tool Market
    • 9.3.2 Vacuum Cluster Tool Market
    • 9.3.3 Non-Vacuum Cluster Tool Market
    • 9.3.4 Total Cluster Tool Market
    • 9.3.5 Total Semiconductor Processing Equipment Market

FIGURES

  • 3.1 Trend in Use of SECS by Equipment Manufacturers
  • 4.1 Basic Cluster Tool Architecture
  • 4.2 Basic Cluster Tool Architecture
  • 4.3 Communication Architecture in a Cluster Tool
  • 5.1 Applied Material's Endura
  • 5.2 Brooks Automation's Marathon 2 Quad
  • 5.3 Canon's Nanoimprint System Containing 4 Imprint Stations
  • 5.4 PRIMAXX 8-Sided Cluster System
  • 6.1 Multi-Patterning Adds Many Process Steps
  • 6.2 Deposition-Etching Steps In Quadruple Patterning
  • 6.3 Lithography Steps For 3D NAND
  • 8.1 Segmentation of Operator Processing Functions
  • 9.1 Shares of the Total Available Equipment Market By Equipment Type - 2014
  • 9.2 Vacuum Cluster Tool Market Forecast t
  • 9.3 Vacuum Cluster Tool Market Share of Suppliers - 2014
  • 9.4 Vacuum Cluster Tools as Percentage of Supplier Revenues - 2014
  • 9.5 Non-Vacuum Cluster Tool Market Forecast
  • 9.6 Non-Vacuum Cluster Tool Market Share of Suppliers - 2014
  • 9.7 Total Cluster Tool Market Forecast
  • 9.8 Global Processing Equipment Market Forecast
  • 9.9 Vacuum Cluster Tools As Percentage Of Total Processing Equipment Market
  • 9-10 Non-Vacuum Cluster Tools As Percentage Of Total Processing Equipment Market

TABLES

  • 3.1 Corporate Participants in SEMI/MESC
  • 4.1 Model for 300mm LOGIC Production Line
  • 4.2 Model for 200mm LOGIC Production Line
  • 9.1 Total Available Vacuum Cluster Tool Market Forecast
  • 9.2 Vacuum Cluster Tool Market Forecast
  • 9.3 Non-Vacuum Cluster Tool Market Forecast
  • 9.4 Top 10 Processing Equipment Market Shares
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