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市場調査レポート
TSV+：3D TSV製造分析のためのコストモデルツール：データベース
TSV+: Cost model tool for your 3D TSV manufacturing analysis
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当商品の販売は、2011年05月12日を持ちまして終了しました。
アップデート版はこちらになります。
TSV CoSim+
出版日: 2009年10月
商品コード: 103347
当データベースは一定のTSVプロセスフローにおける製造コスト分析が行えるよう構成されたコストモデルツールであり、各種TSVオプションの経済的フィージビリティの分析に有益な各種データをまとめ、概略下記の構成でお届けいたします。
データベース内容
- プロセスフローチャート：利用機器タイプ・ステップ数
- リソグラフィ
- エッチング
- 堆積
- ボンディング、など
- ファブデータ
- 機器ごとのデータ
- ウエハあたりのプロセス時間
- ウエハあたりのオペレーター時間
- 機器の価格
- 消費量（電力など）
- ウエハあたりの消費財（スラリーなど）
- 3DスタッキングのTSVコスト構造内訳、など
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