市場調査レポート：RF MEMS の技術分析

近年、MEMS（微小電気機械システム）技術は著しく発展を遂げ、高周波無線（RF）技術にも適用されています。RF MEMS デバイスは、現在大きな注目を集めていますが、市場規模を拡大するためには、製品の信頼性やパッケージングに関わる中核的な課題を克服する必要があります。

多様な最先端産業の戦略的調査を専門としております米国の調査会社 Technical Insights, Inc. (本社：ニューヨーク) では、RF MEMS 技術について調査分析し、体系的にまとめた報告書 “RF MEMS--A Technology Analysis”を発行いたしました。

当報告書では、RF MEMS の新興技術および可能性のある適用分野について詳細に分析すると共に、世界における研究開発のトレンドなどを含め概略下記の構成で取り上げております。

1. エグゼクティブサマリー

2. RF MEMS：無線通信分野の革命

導入：技術と潜在力の分析
- RF MEMS：鳥瞰的分析
- RF およびシステムソリューションに対するMEMS 技術の適応性
- RF MEMS デバイスのパッケージング
- 設計上の課題
適用可能性の分析
- RF MEMS の適用可能性
- RF MEMS 技術の発展と無線／携帯電話
- 無線 RF MEMS の関連項目
- 通信分野における RF MEMS スイッチの適用
- その他の RF MEMS 適用市場
RF MEMS 産業の活動および出資活動
- RF MEMS 産業の活動
- 特定の出資と産業開発

3. 技術促進と課題

技術促進要因と阻害要因
- 技術導入促進要因
- 技術導入阻害要因
課題
- 技術面の課題
- 商業面の課題

4. 技術革新の最前線：北米

大学における研究
- RF 用途の MEMS マイクロリレー
- RF MEMS チューナブルフィルター
- FPC（フレキシブルプリント回路）技術によるRF MEMS スイッチ
- 生物・化学物質の検出
- 低損失の RF MEMS フィルター
- RF MEMS 共振器モデリング
- パッケージングの技術革新
企業における研究
- 低損失の RF MEMS フィルター
- 携帯電話用 RF MEMS スイッチ
- RF MEMS スイッチ用シリコン気密封止パッケージ
- タイヤの安全性を高める Motorola のセンサー
- 微細加工技術を採用した RF MEMS 生産プラットフォーム

5. 技術革新の最前線：アジア・欧州

大学における研究
- CMOS 互換性を持つ RF MEMS スイッチ
- RF MEMS デバイス統合に際しての材料の特性
- RF MEMS デバイスの計測と電力操作に関する新手法
- 無線通信製品に使用する RF MEMS スイッチ
- RF MEMS 向け超小型共振器
- RF MEMS デバイスに使用する窒化ケイ素
企業における研究
- MEMS 適用分野における SOI（シリコン・オン・インシュレータ）
- RF MEMS スイッチ用 PZT シャント
- RF MEMS を適用した X バンド対応スイッチ
- RF MEMS スイッチ用の安価な膜

6. 特許およびコンタクト先詳細

特許の詳細（北米／アジアおよび欧州）
公開特許公報（世界）／研究機関のコンタクト先

RF MEMS の技術分析

RF MEMS--A Technology Analysis