|
市場調査レポート
ICプロセスにおけるクラスターツール：技術および市場の分析と予測
Cluster Tools In IC Processing: Technology and Market Forecasts
|
「ICプロセスにおけるクラスターツール：技術および市場の分析と予測」は2011年01月にインフォメーションネットワークより発行されました。 当レポートは税抜￥195,957より販売しています。
通信や集積回路、コンピューターの工業分野の市場調査で世界的に高い評価を得ております The Information Network（本社：ペンシルバニア州）では、クラスターツールについて調査分析を行い、まとめた報告書 “Cluster Tools In IC Processing: Technology and Market Forecasts”を発行いたしました。
当報告書では、クラスターのコンセプト、インターフェース規格、市場に展開されているクラスターツールの概要、プロセス動向と課題、コストおよび人的課題や今後の展望などについて、概略下記の構成でまとめております。
第 1 章 イントロダクション
第 2 章 エグゼクティブサマリー
第 3 章 インターフェース規格
- SEMI/MESC
- SECS I と SECS II
- HSMS 規格
- GEM
- 規格の方向性
第 4 章 クラスターのコンセプト
- 定義
- デバイステクノロジーと統合プロセッシング
- 主要機能ユニット
- 中央処理プラットフォーム
- カセットステーション
- 拡張モジュール
- シングルプロセスモジュール
- バッチモジュール
- マルチプロセスモジュール
- クラスターツール通信
- クラスターツールコントローラ
- 伝送モジュールコントローラ
- プロセスモジュールコントローラ
- コントロールソフトウェア
- ヒューマンインターフェースソフトウェア
- ネットワーキングソフトウェア
- 真空システム設計
第 5 章 商用クラスターツール
- クラスターツールとサプライヤ
- プロセスモジュールとサプライヤ
第 6 章 クラスターツールプロセス動向
- 概要
- 蒸着：プラズマ・エッチング
- 蒸着：高速熱処理
- リソグラフィ：抵抗処理
- 診断：プロセス
- CMP 研磨
第 7 章 クラスターツールの課題
第 8 章 コストおよび人材的課題
- 概要
- コストの正当性
- 背景
- コストの正当性
- 積立金
- 人件費
- その他ROIに関する見解
- 人材の影響
- 背景
- 直接雇用
- 機器サポート
- プロセスエンジニアリング
- オペレーションスタッフ
第 9 章 市場予測
- 概要
- 市場予測の仮定
- 市場予測
- 機器市場
- フレキシブルクラスターツール市場
- 非フレキシブルクラスターツール市場
- クラスターツール市場
|
