ICプロセスにおけるクラスターツール：技術および市場の分析と予測

通信や集積回路、コンピューターの工業分野の市場調査で世界的に高い評価を得ております The Information Network（本社：ペンシルバニア州）では、クラスターツールについて調査分析を行い、まとめた報告書 “Cluster Tools In IC Processing: Technology and Market Forecasts”を発行いたしました。

当報告書では、クラスターのコンセプト、インターフェース規格、市場に展開されているクラスターツールの概要、プロセス動向と課題、コストおよび人的課題や今後の展望などについて、概略下記の構成でまとめております。

第 1 章 イントロダクション

第 2 章 エグゼクティブサマリー

第 3 章 インターフェース規格

• SEMI/MESC
• SECS I と SECS II
• HSMS 規格
• GEM
• 規格の方向性

第 4 章 クラスターのコンセプト

• 定義
• デバイステクノロジーと統合プロセッシング
• 主要機能ユニット
  • 中央処理プラットフォーム
  • カセットステーション
  • 拡張モジュール
  • シングルプロセスモジュール
  • バッチモジュール
  • マルチプロセスモジュール
• クラスターツール通信
  • クラスターツールコントローラ
  • 伝送モジュールコントローラ
  • プロセスモジュールコントローラ
  • コントロールソフトウェア
  • ヒューマンインターフェースソフトウェア
  • ネットワーキングソフトウェア
• 真空システム設計

第 5 章 商用クラスターツール

• クラスターツールとサプライヤ
• プロセスモジュールとサプライヤ

第 6 章 クラスターツールプロセス動向

• 概要
• 蒸着：プラズマ・エッチング
• 蒸着：高速熱処理
• リソグラフィ：抵抗処理
• 診断：プロセス
• CMP 研磨

第 7 章 クラスターツールの課題

• 概要
• 機器の信頼性
• 機器の維持容易性
• 課題
• 機会

第 8 章 コストおよび人材的課題

• 概要
• コストの正当性
  • 背景
  • コストの正当性
  • 積立金
  • 人件費
  • その他ROIに関する見解
• 人材の影響
  • 背景
  • 直接雇用
  • 機器サポート
  • プロセスエンジニアリング
  • オペレーションスタッフ

第 9 章 市場予測

• 概要
• 市場予測の仮定
• 市場予測
  • 機器市場
  • フレキシブルクラスターツール市場
  • 非フレキシブルクラスターツール市場
  • クラスターツール市場