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市場調査レポート
マスク製造、欠陥検査およびリペア市場の分析と課題
Mask Making, Inspection, & Repair: Market Analysis and Strategic Issues
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「マスク製造、欠陥検査およびリペア市場の分析と課題」は2011年01月にインフォメーションネットワークより発行されました。 当レポートは税抜￥201,321より販売しています。
当報告書では、マスク製造、欠陥検査およびリペア装置の技術課題、ベンダーの戦略と機会、市場予測などについて、概略下記の構成でまとめております。
第1章 イントロダクション
第2章 エグゼクティブサマリー
第3章 技術課題
- マスク製造
- マスク製造装置
- マスク検査
- マスクリペア
- レーザーリペア
- 集束イオンビーム（FIB）
- その他のリペア方法
第4章 ユーザー - ベンダー戦略
- ユーザーニーズの確立
- マスク製造
- サブミクロンマスク製造
- マスク検査装置
- マスクリペアレーザー vs. FIB
- PSM（位相シフトマスク）
- OPC（光学近接効果補正）
- NGL技術の課題
- 競合ベンダーのビジネスチャンス
第5章 市場予測
- 市場影響因子
- 概要
- ICプロセッシング技術の動向
- マスクとレチクルに関する要件
- ターンアラウンドタイム向上装置
- 電子ビームおよびX線直描法の影響
- 市場予測の前提条件
- マスクの製造、検査およびリペア
- 完成マスク市場
図表
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